供应半导体工艺设备-石英腐蚀机
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立式/卧式石英管清洗机： 适用于1″~8″石英管清洗立式石英管清洗机分为电器部分、箱体部分、隔离门部分、在线加热部分、喷淋部分、喷淋装置的上下移动部分、管路部分、抽风部分。 1．本设备为柜体式，外箱体为德国磁白PP，内箱体为德国PVDF，操作面带有德国透明PVC门窗。 2．清洗满足工艺：上料→热冷DI水冲洗→下料DI水压力：3kg/cm2DI水加热温度：75°~85° 3．冷热水喷淋方式：自动控制 4．管路部分： ⑴气动阀采用德国产，执行机构与流体隔离，流体接触材质为PVDF，用于DI水的气动阀。 ⑵美国进口在线加热器与DI水接触处采用PVDF材料，防止DI水的污染。有过热保护装置。 5．电控部分：置于机台的右上方，配有紧急停机及报警装置，电控部分采用密封保护方式。 6．排风装置：排风为后排和上排的双重形式。